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等離子體中包含哪些成分_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子體中包含哪些成分
2020-05-09
master
1445
等離子體主要是通過(guò)氣體放電產(chǎn)生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線(xiàn)等高能量物質(zhì)。
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