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微波等離子蝕刻設備與掛駕式等離子蝕刻設備的區別？_珠海恒格微電子裝備有限公司
微波等離子蝕刻設備與掛駕式等離子蝕刻設備的區別？
2020-05-09
master
1382
微波等離子蝕刻設備只做一張板,RF電源頻率不一樣。掛架式等離子蝕刻設備可以做多張板,RF電源是40KHZ。
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