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等離子蝕刻設備腔體是如何升溫的？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設備腔體是如何升溫的？
2020-05-09
master
1459
等離子蝕刻設備腔體是通過(guò)電子和等離子對工件與腔體高速撞擊的電極發(fā)熱導致腔體升溫；
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