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20:1 高縱橫比板孔內均勻性，等離子表面清洗設備可以做到什么效果_珠海恒格微電子裝備有限公司
20:1 高縱橫比板孔內均勻性，等離子表面清洗設備可以做到什么效果
2020-05-09
master
1640
20:1 高縱橫比板孔內均勻性，等離子表面清洗設備可以做到70%以上。
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等離子蝕刻機進(jìn)氣抽氣由上進(jìn)下出進(jìn)行。
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