恒格密封產(chǎn)品分類(lèi)一——超強耐腐蝕類(lèi) Low Etch Rate

采用化學(xué)穩定性極高的金屬化合物粉末作為填加物（如硫鋇BaSO4，二氧化鈦TiO2，陶瓷等） 

優(yōu)點(diǎn)：極好的耐等離子腐蝕性能

應用：深硅刻蝕設備、AMAT ETCH 裝備的標準配置

應用位置：腔體門(mén)板、進(jìn)氣口

超強耐腐蝕類(lèi)材料物性