恒格密封產(chǎn)品分類(lèi)二——超潔凈 Ultra Clean
采用對制程無(wú)污染、且分子量極小的材質(zhì)作為填加物(如:硅等)
優(yōu)點(diǎn):無(wú)固態(tài)生成物
應用:干式和濕式半導體工藝
應用位置:進(jìn)氣口/孔密封、室內蓋密封、隔離閥密封等
超潔凈材料物性
采用對制程無(wú)污染、且分子量極小的材質(zhì)作為填加物(如:硅等)
優(yōu)點(diǎn):無(wú)固態(tài)生成物
應用:干式和濕式半導體工藝
應用位置:進(jìn)氣口/孔密封、室內蓋密封、隔離閥密封等
超潔凈材料物性