恒格等離子蝕刻設備和其他家等離子蝕刻設備比最大的差異（亮點(diǎn)）在哪里？
2020-05-09
master
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恒格等離子蝕刻設備和其他家等離子蝕刻設備比最大的差異與亮點(diǎn)：
腔體無(wú)縫焊接，真空漏率小于30mtorr/min；
電極一體成形，升溫導熱快、咬蝕率高、清洗保養不泄漏；
真空泵專(zhuān)利保護（變頻器/過(guò)熱/過(guò)流保護）；
電極、真空泵/電源采用獨立冷卻系統，運行更加安全穩定；
腔體前后門(mén)開(kāi)啟/腔體四周有可拆卸隔板方便維護保養
