等離子蝕刻設備射頻：
射頻（RF）是Radio Frequency的縮寫(xiě)，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。

射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡(jiǎn)稱(chēng)。

每秒變化小于1000次的交流電稱(chēng)為低頻電流，大于10000次的稱(chēng)為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。