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等離子蝕刻設備一般工作氣體有哪些？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設備一般工作氣體有哪些？
2020-05-09
master
1581
等離子蝕刻設備工作氣體有氧氣,氮氣,CF4及氬氣；
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